始建于1959年
抽气系统:分子泵+机械泵极限真空度:≤2×10-3Pa溅射靶尺寸: ?38mm,
溅射电压:3kV
试验台尺寸:?40mm
蒸发玻璃罩尺寸:?88×H140
溅射玻璃罩尺寸:?88×H57
试样运动方式:平面旋转、倾斜旋转
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