真空系统集成

真空多功能表面样品处理机
主要功能为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备,也适合高校、研究所在小尺寸样片沉积金属膜。
可进行真空蒸镀碳、电阻蒸发、离子溅射

性能指标

抽气系统:分子泵+机械泵 极限真空度:≤2×10-3Pa 溅射靶尺寸: ?38mm,


溅射电压:3kV


试验台尺寸:?40mm


蒸发玻璃罩尺寸:?88×H140


溅射玻璃罩尺寸:?88×H57


试样运动方式:平面旋转、倾斜旋转

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