工艺过程装备

FJ 系列单抽口分子泵机组--FJ3500分子泵机组
◆ 可配置多种真空接口,便于拓展。
◆ 可配置成无油真空系统。抽速稳定,可用于多种工况。
◆ 可单独移动,方便操作。
◆ 具有手动、自动功能。

性能指标

型号

机组稳定抽速(L/S)

空载极限真空(Pa)

分子泵型号

前级泵

机组尺寸(mm,不含罗茨泵)

FJ3500

3500

9×10-5 

F-400/3500

干泵或旋片泵(可配罗茨泵)

1100×600×1600


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