Amsp-Ⅰ磁控溅射仪 - 科学仪器 - 成都中科唯实仪器有限责任公司

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产品分类

Amsp-Ⅰ磁控溅射仪

Amsp-Ⅰ磁控溅射仪应用于高分辨率扫描电镜、电子探针、能谱仪等样品制备，高校材料、物理教学等。

主要特点：模块设计，易于安装体积小巧；自动化高，一键启动运行；功能性强，支持多种靶材镀膜；稳定性好，高效成膜质量可靠。
真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；
溅射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；
样品台：带1个Φ50mm样品台和7个Φ13mm 扫描电镜样品杯，电动旋转。

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外型尺寸：430mm(L)×355mm(W)×390mm(H)

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