真空系统集成

SBC-12 小溅射仪
SBC-12 小型离子溅射仪适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器
主要用途:金的离子溅射 
主要规格和技术指标:玻璃处理室:ø100mm,高度130mm;
试样台尺寸:ø40mm,可同时放6个样品杯;
金靶尺寸:ø58mm;
真空系统:直联旋片真空泵1升/秒真空检测:皮式计
真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空工作室
工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气节

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