工艺过程装备

电子束连续生产线
主要功能在玻璃或其他基材上,用电子束沉积的方式蒸镀各种金属膜或介质膜。
◆蒸发内腔尺寸:1.5×1.5×1.4m
◆蒸发室极限真空:≤ 2×10-4Pa
◆电子枪:4支,每支10kW
◆离子源:4支,空心阴极
◆烘烤温度:最高270℃
◆走速:0.5—5m/min

性能指标

主要技术指标

蒸发内腔尺寸:1.5×1.5×1.4m

蒸发室极限真空:≤ 2×10-4Pa

电子枪:4支,每支10kW

离子源:4支,空心阴极

烘烤温度:最高270℃

走速:0.5—5m/min


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