◆蒸发内腔尺寸：1.5×1.5×1.4m
◆蒸发室极限真空：≤ 2×10-4Pa
◆电子枪：4支，每支10kW
◆离子源：4支，空心阴极
◆烘烤温度：最高270℃
◆走速：0.5—5m/min
性能指标
主要技术指标
蒸发内腔尺寸：1.5×1.5×1.4m
蒸发室极限真空：≤ 2×10-4Pa
电子枪：4支，每支10kW
离子源：4支，空心阴极
烘烤温度：最高270℃
走速：0.5—5m/min
主要技术指标
蒸发内腔尺寸：1.5×1.5×1.4m
蒸发室极限真空：≤ 2×10-4Pa
电子枪：4支，每支10kW
离子源：4支，空心阴极
烘烤温度：最高270℃
走速：0.5—5m/min
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